具有移動式操作結構,適合超大零件輪廓測量。
改進的結構設計,具有更強的防碰撞能力表現。
以陶瓷材質導軌為測量基準,
即使溫度變化較大也能保持測量精度。
寬測量范圍設計,調節方便。
粗糙度和輪廓測量可以同時進行。
輪廓線性精度[1]:±(1.5+|0.15H|)μm
粗糙度線性精度:≤±(7nm+3.5%)
殘余噪聲[2]:≤0.012μm
重復性[3]:1δ≤2nm
[1]: (H:測量高度)
[2]:(用方波標準量塊測量,Ra為0.35~0.5μm。)
[3]:(λc為0.08mm,光學平面采樣速度0.1mm/s。)