產(chǎn)品展示
經(jīng)濟(jì)高效的粗糙度和輪廓一次性測(cè)量解決方案。
采用高剛性、高精度、免維護(hù)的直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,可以控制具有高精度性能的測(cè)量系統(tǒng)。
應(yīng)用案例
技術(shù)規(guī)格
模型 | 因菲克斯10 | |
柱子 | 測(cè)量范圍 | 0-620mm可選 |
驅(qū)動(dòng)單元 | 測(cè)量范圍 | 0-220mm可選 |
指示精度 | ±(0.8+2L/100)μm | |
直線度 | ≤0.3μm/100mm | |
探測(cè)器 | 測(cè)量范圍 | ±10毫米 |
Z1軸輪廓指示精度 | ≤±(0.8+|0.12H|)μm | |
Z1軸粗糙度指示精度 | ≤±(8nm+3.5%) | |
重復(fù)性 | 1δ≤2nm | |
殘留噪音 | ≤0.012μm | |
手寫筆 | 標(biāo)準(zhǔn),金剛石5μm/90° | |
測(cè)量精度 | 弧 | ≤±(1.2+R/12)μm |
弧鉑 | ≤±0.3μm | |
角度 | ≤±1′ |